康婓尔过滤器半导体行业应用

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为先进半导体制造提供全面解决方案，提高您的工艺良率。

排气（半导体）

保护环境和人员免受工业过程中释放的危险或高浓度颗粒和分子污染物的影响，符合当地安全法规并降低废气过滤系统的运营成本。

工艺设备（半导体）

洁净室或小型环境中的微电子工艺需要防止颗粒和分子气态污染物。工艺包括光刻，涂布机开发，蚀刻，扩散，金属化，薄膜，离子注入，检查工具和光罩储料器。

新风机组（半导体）

空气处理单元为工业提供经过过滤处理的洁净空气，来保护设施系统的关键部件，用于产生房间正压并补偿排气。补充的空气需要适当的过滤，以保护盘管、管道、人员、工艺和产品。

循环空气单元（半导体）

再循环空气单元用于为设施提供清洁和回火的空气，作为洁净吊顶系统和风机过滤单元的补充或替代。再循环空气需要过滤以保护人员，过程和产品

洁净室吊顶（半导体）

洁净室吊顶箱体旨在为洁净室设备、制造工艺和产品提供高水平保护，免受分子污染物（气相），纳米颗粒和微米颗粒物损害。根据洁净室设计，洁净天花使用层流或非单向流送风设备...