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让高性能的洁净室过滤成为制造平板显示器的关键组成部分。符合严格的空气洁净度标准，同时提高良率，降低成本。

排气（平板显示）

保护环境和人员免受工业过程中释放的危险高浓度颗粒和分子污染物的影响，以符合当地安全法规并降低废气过滤系统的运营成本。

循环空气单元（平板显示）

再循环空气单元用于为设施提供清洁和回火的空气，作为吊顶送风系统和风机过滤器单元的补充或替代。再循环空气需要过滤以保护人员，过程和产品。

工艺设备（平板显示）

洁净室及小型环境中的微电子工艺需要防止颗粒和分子气态污染物的污染。工艺包括光刻、涂布机开发、蚀刻、扩散、金属化、薄膜、离子注入、检查工具和光罩储料器。

新风机组（平板显示）

空气处理单元为工业提供经过过滤处理的洁净空气，来保护设施系统的关键部件，用于产生房间正压并补偿排气。补充的空气需要适当的过滤，以保护盘管、通风管道、人员、工艺和产...

洁净室吊顶（平板显示）

洁净室吊顶旨在为洁净室设备，工艺和制造产品的分子（气相）污染物，纳米颗粒和微米颗粒提供高保护水平。根据洁净室设计，天花板使用层流或湍流气流。